所謂的臭氧脫硝原理是將不溶于水的低價(jià)態(tài)氮氧化合物，通過(guò)臭氧的氧化性，氧化為可溶的高價(jià)態(tài)氮氧化合物，然后在噴淋洗滌塔內，通過(guò)堿性溶液進(jìn)行吸收，達到脫除的目的。
低溫煙氣脫硝技術(shù)以低溫催化氧化技術(shù)zui為簡(jiǎn)單有效，由于煙氣中的氮氧化物主要組成是NO（占95），NO難溶于水，NO與臭氧接觸后，發(fā)生反應，可成生成NO2、NO3、N2O5等高價(jià)態(tài)的氮氧化全物，這些高價(jià)態(tài)的氮氧化合物可溶于水,生成HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，很容易通過(guò)堿性溶液噴淋(如Ca(OH)2、NaOH)等手段將其從煙氣中脫出。
將煙氣中的NO轉化為高價(jià)態(tài)，需引入較強的氧化劑，在眾多氧化劑中，臭氧是zui環(huán)保清潔的強氧化劑，O3的生存周期相對較長(cháng)，將少量氧氣或空氣電離后產(chǎn)生，然后送入煙氣中，可顯著(zhù)降低能耗。
其中主要包括以下反應：
NO+O3→NO2+O2 （1）
NO2+O3→NO3+O2 （2）
NO2+NO2→N2O4 （3）
N2O4+O3→N2O5 （4）
NO3+NO2→N2O5 （5）
3NO2+H2O→2HNO3+NO  (6)
N2O5+ H2O→2HNO3 （7）
臭氧脫硝利用臭氧將NO氧化為高價(jià)態(tài)的氮氧化物后，需要進(jìn)一步地吸收。常見(jiàn)的吸收液有Ca(OH)2、NaOH 等堿液。NO的脫除效率可達到86.27%~92%。